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英福康推出其新一代干式氦气检漏仪产品

导读世界领先的真空仪器供应商英福康(INFICON)公司重磅推出其新一代干式氦气检漏仪产品——UL3000 Fab(PLUS)。基于灵活性、可移动性、灵敏性和可靠性的大幅提升,UL3000 Fab(PLUS)能够快速启动并提供快速精确的检测结果,是英福康针对半导体行业的新需求和新变化创新研发的最新一代的检漏仪器。  

世界领先的真空仪器供应商英福康(INFICON)公司重磅推出其新一代干式氦气检漏仪产品——UL3000 Fab(PLUS)。基于灵活性、可移动性、灵敏性和可靠性的大幅提升,UL3000 Fab(PLUS)能够快速启动并提供快速精确的检测结果,是英福康针对半导体行业的新需求和新变化创新研发的最新一代的检漏仪器。

满足客户需求,持续创新发展

半导体芯片是构成消费电子产品的重要部件,随着现今电子产品不断向轻薄化、智能化、高端化方向发展,半导体的生产也面临着往更精小、更强大等需求进行变革和升级。每个半导体芯片上含有数十亿个极微小的电气设备,需要通过许多重复的真空步骤制造。另外,精细的层次和电路图案也需要通过小心控制的真空沉蚀和蚀刻过程进行加工。这其中,能否确保优质的真空加工环境就成了半导体制造和生产的关键环节。

“不断创新优化技术产品,持续满足客户需求,是英福康多年发展始终秉持的核心理念。针对半导体行业在检漏程序上的新变化和新需求,英福康创新研发了新一代的氦气检漏仪UL3000 Fab(PLUS),以期用更高效的检测步骤、更便捷的检漏操作来增强用户的满意度。”英福康中国负责人赵凡非先生介绍说。

快速获取结果,高效与智能兼备

在制造技术层次不断提高、复杂度持续增加的市场大趋势下,半导体生产的成本也在不断提高,要想继续维持低成本、高良率、增强自身竞争优势,保障半导体真空制造环境的洁净度就变得非常重要。同时,配备一台高效灵敏的检漏仪器的必要性也得到了市场的进一步认可。新一代UL3000 Fab(PLUS) 氦气检漏仪能够快速获取检测结果、提供极短响应时间的优势就很好的符合了这一行业趋势。创新低维护真空泵设计让仪器在大气压力下即可进行泄漏检测,方便快捷;I-CAL(漏率的智能计算程序)确保了在全部测量范围内最快速的响应时间;HYDRO-S软件则能消除系统中的水汽对检漏结果的影响,使泄漏检测过程更加迅速。

此外,UL3000 Fab(PLUS)还是一台智能型检漏仪器,其无需任何特殊软件或应用程序,即可通过智能手机和直接对仪器进行无线控制的优势,对于复杂和要求严格的半导体生产环境尤为适用。

人性化的设计考量,最佳用户体验

新一代的检漏仪设备UL3000 Fab(PLUS)在用户友好性上也下足了功夫。首先是灵活纤巧的外形,低重心、大底轮、纤薄细长的小车型仪器设计,搭配上符合人体工程学的手柄,让检漏仪在更便于用户操作的同时也能非常轻松地应对多种复杂的现场环境,即使是再狭小的空间也移动自如。其次,新型显示器也是UL3000 Fab(PLUS)的亮点之一,其不仅可远距离显示测量结果和状态信息,现代化的菜单结构和可旋转的设计也让用户对于检测结果一目了然。此外,新仪器也充分考虑到了用户实际应用中的问题,直观的显示屏操作指南加上用户引导型菜单,就算是未经培训的员工也能轻松操作、很快上手。

同时,小车型的仪器还搭载有多种检测配件和设备,例如氦瓶支架、真空软管、配件等。一台设备,多种功能,UL3000 Fab(PLUS)让检漏操作再无后顾之忧。

图片:

图1:英福康新一代氦气检漏仪UL3000 Fab(PLUS)